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原廠原裝?。LVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵

原廠原裝??!ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 LS1200A
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  • 更新時間:2025-06-06
  • 產(chǎn)品型號:LS1200A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 訪  問  量:62
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產(chǎn)品詳情

原廠原裝!!ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 LS1200A

原廠原裝!!ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 LS1200A



"Model:LS"真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。

以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過D創(chuàng)的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合,使該Model產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。

在4種機(jī)型中,您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

特點

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h,與以往的真空泵相比,排氣時間可縮短約20%。
■標(biāo)配的專用消音器能解決干式真空泵T有的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB(A)以下,
 這是一個在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中也不會打擾到您的噪音等級(*1))
■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛發(fā)科D有技術(shù)。
 該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下(*2)
■“Model:LS"無需軸封氣體。以氮?dú)夂涂諝獾鹊呐艢鉃橹鞯那鍧嵐に嚳山档瓦\(yùn)行成本(*3)
■希望進(jìn)一步提高排氣速度的話,建議您搭配機(jī)械增壓泵使用。
 通過組合使用排氣速度可以達(dá)到120~1200m3/h。

(*1)LS120A-C時
(*2)C規(guī)格時
(*3)L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。

原廠原裝!!ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵原廠原裝??!ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵

用途

“Model:LS"有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型,適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說,包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。


其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能,適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。

規(guī)格

型式(C:C式樣)
(L:L式樣)
LS120ALS300ALS600ALS1200A
CLCLCLCL
最大排氣速度m3/h1203806001000
到達(dá)壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
消費(fèi)電力
概略值 *1
kW0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷卻水量L/min>2.0>4.0
Purge gas 量 *2SLM0~500~500~500~50
最大水蒸氣
處理量 *3
kg/h1.51.51.51.5
噪音值*1dB(A)61616264
吸氣口KF50(水平)/
VG50(垂直)
ISO-F-50ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40KF40KF40KF40
質(zhì)量kg142220242266
適用規(guī)格CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護(hù)器
本體選配件電源電壓:200V級或400V級、密封部材質(zhì):全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、
Gas purge

:到達(dá)壓力時
*2:C式樣不可流通Purge gas
*3:Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應(yīng)無漏




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